微電子是指微型電子學(xué)，是研究微型電子元器件、電子電路和系統(tǒng)的一門學(xué)科。微電子領(lǐng)域涉及到微型芯片、集成電路、半導(dǎo)體器件等微型電子元件的設(shè)計(jì)、制造和應(yīng)用。微電子技術(shù)的發(fā)展推動(dòng)了電子產(chǎn)品的小型化、輕量化和高性能化，廣泛應(yīng)用于計(jì)算機(jī)、通訊、消費(fèi)電子、醫(yī)療電子等領(lǐng)域。

在微電子生產(chǎn)過程中常出現(xiàn)異物、裂紋等缺陷，單是使用人工檢測的方式已經(jīng)不能保證生產(chǎn)量和精確度。2024年，很多電子制造業(yè)已經(jīng)開始結(jié)合自動(dòng)化光學(xué)檢測設(shè)備進(jìn)行微電子外觀缺陷檢測。

自動(dòng)光學(xué)檢測也稱為AOI(Automated Optical Inspection縮寫)，是基于光學(xué)原理來對(duì)微電子生產(chǎn)中遇到的常見缺陷進(jìn)行檢測的設(shè)備。主要通過相機(jī)對(duì)微電子進(jìn)行掃描并獲取到區(qū)域的圖像，通過視覺處理技術(shù)自動(dòng)檢測微電子上各種外觀缺陷。AOI自動(dòng)光學(xué)檢測設(shè)備可以大幅提高產(chǎn)品檢測效率，確保最終產(chǎn)品的質(zhì)量符合標(biāo)準(zhǔn)，已經(jīng)成為電子制造過程中不可或缺的一部分。

光學(xué)自動(dòng)化檢測案例

檢測需求

精度要求：瑕疵檢測精度99%以上。

速度要求：每分鐘檢測數(shù)量不低于200件。

工藝要求：在原有生產(chǎn)線上加裝視覺檢測設(shè)備。

檢測內(nèi)容

檢測產(chǎn)品的印字面沾異物、沾銀、擴(kuò)散、印銀方向正反、裂紋、崩缺、印銀、電鍍不良、黑邊等外觀缺陷。

檢測效果

電鍍不良

印銀不良

崩缺

中柱卡異物  

缺銀

沾銀

印銀方向錯(cuò)誤  

裂紋

印字面有異物